潔凈室是指對空氣潔凈度、溫度、濕度、壓力、噪聲等參數都需要進行控制的密閉性空間。許多精密加工行業、半導體、芯片、醫學手術室、電子設備、航天、制藥、生物實驗室行業等都需要潔凈室。比如醫學行業主要是為了防止病菌、細菌、灰塵對病人手術過程中造成感染;溫濕度對于精密儀器儀表產品的精確程度有很大影響。
半導體在芯片、集成電路、消費電子、通信系統等中都有應用,
半導體制造潔凈室對溫濕度的要求一般是溫度處于22-28℃ ,濕度在30-50 RH(%)之間。潔凈室運作過程中對相對濕度環境控制尤為常見。因為相對濕度會對潔凈室總體表現下降有較大影響,比如加速細菌繁殖;人體舒適感不佳,人體汗液可能污染半導體產品;出現靜電荷;加快金屬腐蝕生銹;水汽冷凝污染半導體表面的清潔度;光刻的退化;影響光刻膠附著能力等。
因此,對于半導體潔凈室的溫濕度控制尤為重要。現在的半導體潔凈室系統都會嚴格控制溫濕度、空氣潔凈度和壓力程度等,在室內安裝不同的溫濕度傳感器、壓力傳感器等,做到實時監測、實時控制。恒歌也有多款溫濕度變送器傳感器、溫濕度儀表、溫濕度記錄儀等產品應用于各種高精尖行業、生物實驗室、制藥車間、潔凈室的溫濕度監測。
運用各種傳感器來對溫濕度數據進行實時監控,但是偶爾傳感器用久了,也會發生漂移現象。因此傳感器是需要定期校準的。恒歌溫濕度校準儀表具有操作方便、便攜、多功能、高精度、多種測量/數據輸出模式等優點,成為工業現場、實驗室、儀表制造常用的計量校準工具。
不同的潔凈室對于溫濕度的要求是不同的,主要是根據加工使用的產品本身的特性來考量。但是有一點是可以肯定的,溫濕度不管在任何行業,作為一個環境因素發揮著重要的影響力。我們總是運用各種手段進行溫濕度數據監控,以便達到我們的理想狀態。
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